技术编号:8283650
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统(Micro Electro Mechanical System MEMS),具体为一种可增加MEMS超级电容器电极比表面积的斜光刻方法。背景技术随着信息技术的进步,高端电子设备朝小型化、便携式、长寿命方向发展,要求电子设备中的电容器容量大、功率密度高、体积小,然而目前为电子设备供能的微型发电机存在不能持续供能且功率较低的缺陷,而传统的微型电池则存在充放电效率低、循环次数有限、不具备大功率充放电能力且安全性较差等缺点。因此研制具有较大脉...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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