技术编号：8293154
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。MEMS (微电子机械系统)是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、微流体器件等在航空航天、工业、消费电子、汽车、军事、医疗等领域中都有着十分广阔的应用前景，还被广泛应用于微流控芯片与生物学等领域。微阀分为被动式微阀与主动式微阀。被动式微阀依靠阀两端的压差与流体的流动等来控制阀片的开闭，而主动式微阀通过微执行器来...
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