技术编号：8293648
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于电子材料领域，尤其是涉及一种。背景技术压电薄膜即是具有压电性且厚度尺寸为数十纳米到亚微米的材料。同块体材料相比，压电薄膜既具有与块体材料相似的光、电、热、声等一系列重要性质，又具有体积小，工作电压低，便于发展小型器件以及和半导体工艺相集成等优点，这使它在微电子学、光电子学、集成光学、微机械学和微机电学等高具有广泛的应用前景。随着压电薄膜制备技术的发展，使现代微电子技术与压电薄膜的多种功能相结合，必将开发出众多新型功能器件，促进新兴技术的发展。然而...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。