技术编号：8296587
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前，分子泵是一种用于获得高真空及超高真空的真空泵，具有清洁无油，抽速大，极限高，耗能少的优点。广泛应用于镀膜，电子显微镜，质谱仪，半导体及太阳能电池生产，单晶硅及蓝宝石炉等各种需要高真空的实验室及工业场合。分子泵是一种动能传输泵，通过转子的高速旋转，将动能传递给气体分子，实现抽气的能力。如图1所示为现有技术中常规分子泵转子的结构示意图，从图1中可以看出转子上部叶片为涡轮级，叶片分为多层，每层之间留有间隙，层与层之间的间隙中装配有定片，分子泵转子通过动片与...
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