技术编号：8297554
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于微电子机械系统器件领域，具体涉及一种膜片上FBAR(薄膜体声波谐 振器，filmbulkacoustic-waveresonators)结构的微压力传感器，该结构的微压力传感 器具有可制造性好、温度稳定性高、机械强度高、灵敏度高及线性度好等特点。 技术背景 微压力传感器是最重要的MEMS传感器之一，根据其工作原理，目前主要有电容 式、压阻式及机械谐振式等结构。电容式和压阻式的微压力传感器输出微弱的模拟信号，容 易受到环境温度、寄生电容、电磁干扰...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。