技术编号：8298291
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。工业技术的发展对非接触式光学瞄准定位技术提出了迫切需求。目前应用光学测头、光学灵敏杠杆、双象棱镜、斜光束照明干涉瞄准以及反射式瞄准显微镜直接进行瞄准均属于横向定位瞄准。当将它们用于纵向定位瞄准时，上述系统或仪器中的绝大部分将变得无法工作。而一般的光学显微镜系统虽然尚可进行纵向定位瞄准，但由于受到显微镜景深的影响，从而导致其定位瞄准误差很大，为毫米量级。该问题一直限制着光学显微镜系统在高准确度测量中的应用。发明内容本发明的目的是为了克服现有瞄准技术存在精度低...
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