一种用于高能离子注入的复合掩膜的去除方法技术资料下载

技术编号:8300307

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基于碲镉汞光电二极管的红外焦平面阵列探测器已经广泛应用于军事安保、资源勘探、海洋监测及空间遥感等领域。按器件结构划分,HgCdTe光电二极管可分为n-on-p型和p-on-n型。n-on-p工艺历经几十年的技术积累已经趋于成熟,基于该工艺的短波红外(SffIR)和中波红外(MWIR)HgCdTe FPA器件已经具有较高的性能。然而,对于长波(LW)及甚长波(VLW)器件来说,为了获得相应谱段的光谱响应,必须将HgCdTe基底材料的禁带宽度进一步降低(<...
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