技术编号：8300346
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利说明高效率高准确度加热器驱动器本申请是申请日为2011年2月18日申请的申请号为201180009496.3，并且发明名称为“高效率高准确度加热器驱动器”的发明专利申请的分案申请。本发明涉及加热器驱动器，所述加热器驱动器可用于快速热处理腔室，以在处理晶片(wafer)时提供更有效率的操作方式。背景技术当处理半导体晶片时，快速热处理(RTP)腔室需要控制供给灯具的功率以控制灯具所产生的热量。现有的快速热处理腔室利用包含有相位角度控制的硅控整流器(sili...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。