技术编号：8303118
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 在以铝和铝合金等为基材的构件的表面形成阳极氧化皮膜，对此基材赋予耐等离 子体性和耐气体腐蚀性的阳极氧化处理，一直以来广泛进行。例如，半导体制造设备的等离 子体处理装置所用的真空室、设于该真空室的内部的各种零件一般使用铝合金构成。然而， 如果在不进行任何处理的状态下（无逅的状态）使用该铝合金，则不能保持耐等离子体性 和耐气体腐蚀性等。因此要进行的是，在由铝合金构成的构件的表面形成阳极氧化皮膜，由 此赋予耐等离子体性和耐气体腐蚀性等。 另一方面，近年来源于布...
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