技术编号:8307802
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。随着大规模集成电路和光伏产业的发展,集成度的不断提高,对硅原料的需求越来越高,同时对硅片的质量要求也越来越高,在生产过程中,经常需要处理和回收利用碎硅料,而碎硅料中除有较多石子、金属、纤维等杂物需清除外,还会遇到在低浓度掺杂的合格料中掺有高浓度掺杂的P型和N型重掺料的情形,在清理碎硅料时需将这部分重掺硅料分拣出去;现有的P型、N型重掺硅料分拣方法,因重掺料与合格料颜色相近不好区分,故通常是采用仪器分拣,仪器的购买成本较高,且仪器分拣重掺耗时长,工效差,不利...
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