技术编号:8308702
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。近些年,金属纳米线在微电子领域、等离子体激元学、光电子学以及生物传感领域取得了广泛的运用。由于纳米线的尺寸的减小对集成度、便携度、器件能力具有重要意义,纳米线的加工方法越来越受到重视。传统的加工方法如电子束加工、离子束加工、超紫外光光刻等方法,可以满足尺寸的要求,然而,这些方法对加工环境要求极高要求在真空条件下加工、操作复杂、在大面积加工方面效率较低,且存在化学物质污染。这些缺陷阻碍了其在纳米线加工方面的运用。飞秒激光直写加工是一种非真空无掩膜的加工方法,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。