技术编号:8309384
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种平行对准装置,更特别地说,是指一种基于柔性平行四边形机构 的具有远程转动中心的平行对准平台。背景技术 在微纳米操作领域,如光纤装配、纳米压印以及光学元件对准等,实现两个操 作平面间高精度的平行对准是必不可少的。平行对准过程需要平行对准设备进行离面 (out-of-plane)方向的转动调节以消除两个操作平面间的平行误差。与传统平行对准设备 相比,具有远程转动中心(remote-center-of-motion,RCM)的平行对准设备在对准过...
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