一种基于柔性平行四边形机构的具有远程转动中心的平行对准平台的制作方法技术资料下载

技术编号:8309384

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本发明涉及一种平行对准装置,更特别地说,是指一种基于柔性平行四边形机构 的具有远程转动中心的平行对准平台。背景技术 在微纳米操作领域,如光纤装配、纳米压印以及光学元件对准等,实现两个操 作平面间高精度的平行对准是必不可少的。平行对准过程需要平行对准设备进行离面 (out-of-plane)方向的转动调节以消除两个操作平面间的平行误差。与传统平行对准设备 相比,具有远程转动中心(remote-center-of-motion,RCM)的平行对准设备在对准过...
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