技术编号:8309937
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 近年来,太阳能电池(PV)、液晶面板(IXD)、有机EL面板(OLED)等电子器件(电 子设备)的薄型化、轻量化正在推进,从而使这些电子器件所使用的玻璃基板的薄板化也 正在推进。另一方面,当因薄板化而导致玻璃基板的强度不足时,在电子器件的制造工序中 会使玻璃基板的处理性降低。 因此,最近,从提高玻璃基板的处理性的观点考虑而提出如下一种方法准备将玻 璃基板层叠在带无机薄膜的支承玻璃的无机薄膜上而成的层叠体,在层叠体的玻璃基板上 实施元件的制造处理,之后,使...
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