技术编号：8313819
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。从平板液晶显示器、薄膜晶体管制造、太阳能电池透明电极以及火车飞机用玻璃除霜到建筑物幕墙玻璃，透明导电氧化物薄膜的应用十分广泛。目前研宄主要集中在ZnO，In2O3, SnO2及其掺杂体系 SnO2Sb, SnO2F, In2O3Sn(ITO)，Ζη0Α1(ΑΖ0)等，但上述这些材料都属于η型TCO材料。虽然在ZnO等体系中可通过一定工艺制备出P型TCO材料，但其导电性与η型TCO相差甚远且制备工艺的稳定性和重复性均需大幅度提高。因此，制备出性能优越、工艺条...
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