一种双腔式压电微型泵的制作方法技术资料下载

技术编号:8315582

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本发明涉及泵领域,具体地涉及一种压电泵。背景技术在一些领域,如电子产品、水族等领域,无论水泵还是气泵,普遍要求其体积尽可能的小,所产生的噪音尽可能的低,而流量则尽可能的高,压力也能在一定的要求值上,而现有中传统的泵,例如电机泵,则一般很难满足体积小且噪音低的要求;如今,市场上出现的压电泵,则很好的解决了体积大和噪音大的问题,例如见中国专利CN200580039113.1公开的压电泵,其实施例1所公开的是一种单片单腔(一个压电振子对应一个可变腔体)式的压电...
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