技术编号：8315593
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。干式真空泵作为半导体装置的制造设备被广泛使用。在半导体装置的制造过程中有在真空空间中进行产品的处理的工序，为了形成该真空空间而使用干式真空泵。干式真空泵通常用逆变器装置进行马达控制，以输出所希望的转矩、或者为了节能或控制真空空间的压力而使运转速度变化。存在为了避免由过电压及/或过电流等错误导致的故障而具有保护自身的保护功能的逆变器装置。该类型的逆变器装置构成为当检测到错误时，保护功能工作并使逆变器装置的运转停止。在先技术文献专利文献专利文献1日本特开201...
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