技术编号：8317203
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种激光外差干涉直线度测量装置及方法，尤其是涉及一种具有六自 由度检测的激光外差干涉直线度测量装置及方法。背景技术 在现代精密机械及仪器的制造中，直线度作为表征工作台或导轨零件形状的主要 几何要素之一，在机械精度检测中有着重要的地位和作用。目前直线度测量方法很多，根据 是否采用激光作为测量载体可以分为激光类测量法和非激光类测量法，前者相较于后者能 够达到更高的测量精度且测量方便，因此一直是国内外学者及企业研宄的主要对象。在激 光类测量法中，激光...
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