相移及相倾可切换双模式干涉测量装置及其测量方法技术资料下载

技术编号:8317379

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干涉技术是光学测试中非常有用的一项技术,它通过条纹的数字化处理来获 得相位分布。为了实现高精度的相位提取,通常采用相移干涉PSI (Phase Shifting Interferometry)技术。在标准PSI技术中,需要利用相移器对干涉相位进行等间隔平移, 移动量通常为η/2。由此形成了很多的相移计算方法,目前广泛应用于各种干涉测试场合。 相移干涉技术为了实现等间隔相移,严格的相位标定是一个非常重要的技术环 节。然而,相位标定处理跟相移器硬件相结合,实...
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