技术编号：8317832
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。原子力显微镜是微纳米尺度形貌表征和物理特性测试的重要工具，在半导体、纳米材料、新能源、生命科学等领域有着广泛的应用。原子力显微镜具有分辨率高，对样品无导电性要求，可在大气、液相、真空等多种环境下工作，能够实现原位测试与加工等诸多优点，近年来已成为许多前沿科学研宄与精密制造行业中的必备检测仪器之一。尽管有着其他设备难以企及的优势，但原子力显微镜亦存在一些明显的不足。工作效率低下是目前此类设备最突出的缺点。常规原子力显微镜的扫描行频在IHz左右，扫描一幅512...
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