技术编号:8317871
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 在微电子机械系统(简称MEMS)的微波研宄中,微波功率是表征微波信号的一个 重要参数。在微波信号的产生、传输及接收各个环节的研宄中,微波功率的检测是必不可少 的。最常见的微波功率检测器是基于热电转换原理的微波功率传感器,它把微波信号通过 负载电阻转化成热,然后再利用热电堆的Seebeck效应把此热转换成与待测微波功率成正 比的直流电压输出。在线式微波功率检测系统是通过耦合电容耦合出10%的功率提供给热 电式微波功率传感器进行检测的。但是制作后的耦合电容易...
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