技术编号：8318131
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及半导体领域，特别是涉及。背景技术 在光学，单一形式的各类光学元件目前走向集成光学之路，将光学模块 整合在晶圆（wafer)上，形成集成光路的基础性部件，有助于光通信组件集成化、缩小体 积、减少封装次数，具有大规模化生产，而且低成本、高性能、高密度器件整合等优势，是光 纤通信系统的必要组成部分。 所谓平面光波导（Planar Lightwave Circuit，简称PLC)，是指光波导位于一个 平面内。如同IC芯片的概念，平面光波导是采用半导体工...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。