技术编号：8320656
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前，在半导体集成电路制造工艺，产能是半导体制造设备的重要指标之一，机械手作为设备的关键传送单元，如何更加快速的传送晶圆是产能提高的必要条件之一。半导体晶圆传送机械手传送晶圆的一个完整过程，可分解为移动、取片、移动、送片四个子过程机械手取片过程，即机械手从工艺加工单元中取出晶圆的过程；机械手移动过程，即机械手移动到取送片的准备位置；机械手送片过程，即机械手向工艺加工单元中送入晶圆的过程；晶圆传送主要由机械手通过以上四种动作连续完成。发明内容针对现有技术中存...
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