技术编号：8320794
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在半导体器件中，散热器是一种被动元件，其配置用来通过自器件的有源区将热量耗散出去而冷却器件，有源区例如PN结界面。通常地，当基本的半导体器件的内在散热能力不足以在其工作时控制自身温度时，需要使用散热器。对于高功率半导体器件，例如通过SOI工艺制作的功率晶体管，可能就存在这种固有的散热能力缺失。SOI工艺使用一个硅层，其后在硅衬底上形成绝缘材料层，以代替传统的半导体制造中的硅衬底，以提升器件性能。当用于功率晶体管器件时，SOI工艺相比于体硅器件而言具有显著的...
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