技术编号：8323861
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及例如用于电子部品的绝缘材料和半导体装置中的钝化膜、缓冲涂膜以 及层间绝缘膜等浮雕图案的形成等的感光性树脂组合物。背景技术 现在，半导体装置中使用的表面保护膜和层间绝缘膜，广泛地使用兼顾优异的耐 热性、电气特性、机械特性等的聚酰亚胺树脂、聚苯并噁唑树脂等。这些树脂在各种溶剂中 的溶解性较低，因此一般而言多以前体的形态在溶剂中溶解的组合物形式而被提供。 另外，由于近年的环境问题增强等而追求脱有机溶剂对策，提出了各种与光致抗 蚀剂同样地碱性水溶液中能...
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