技术编号：8323864
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利说明反射镜相关申请的交叉引用通过引用将德国专利申请DE 10 2012 215 502.9的内容并入于此。本发明涉及一种反射镜和包含该类型反射镜的光学组件。另外，本发明涉及一种包含该类型反射镜的投射光学单元，包含该类型投射光学单元的光学系统，以及包含该类型投射光学单元的投射曝光设备。而且，本发明涉及一种优化反射镜设计的方法。最后，本发明涉及一种制造微结构或纳米结构组件的方法。背景技术例如从DE 10 2010 041 632 Al已知用于EUV辐射的反...
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