技术编号:8324045
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及使用薄膜压电材料的薄膜压电元件;包括薄膜压电元件的压电致动器 和压电传感器;以及包括压电致动器的硬盘驱动器和喷墨打印机装置。背景技术 当压电薄膜形成时,为了实现良好的压电特性,膜的结晶性被控制。为了实现高结 晶性,压电薄膜通常在单结晶基板上外延生长。 用于制造压电薄膜的一般的方法包括诸如离子电镀法、溅射法、电子束蒸镀法和 MOCVD法(金属有机化合物化学气相沉积法)的干法、以及诸如溶胶-凝胶法和MOD法(金 属有机化合物分解法)的湿法。 专利文...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。