三氯氢硅废渣的处理系统的制作方法技术资料下载

技术编号:8329412

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在三氯氢硅生产过程中,原料硅粉中往往含有铝、铁、钙等杂质,在与氯化氢气体高温反应时生成氯化铝、氯化铁、氯化钙等金属氯化物,这些物质极易造成后续冷凝系统管道和设备的堵塞。为了达产达标的完成生产任务,往往靠频繁的清理管道和冷凝设备,浪费大量人力和物力,使设备使用寿命缩短,同时造成严重的环境污染。目前,三氯氢硅生产厂家为了减少金属氯化物对管道和设备的堵塞,纷纷引进了湿法除尘装置,该装置采用塔喷淋工艺,采用三氯氢硅工艺中副产物四氯化硅做洗涤剂,吸收粗合成气中的氯化...
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