技术编号:8334456
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种多晶铸锭用功能性石英坩埚的处理方法,属于多晶硅铸锭领域。背景技术 目前,多晶硅锭的制备方法主要是利用GT Solar提供的定向凝固系统进行制备, 该方法通常包括加热、熔化、长晶、退火和冷却等步骤。在凝固长晶过程中,通过对顶部温度 和侧边保温罩开度进行控制,使得熔融硅液在坩埚底部获得足够的过冷度凝固结晶。在多 晶铸锭过程中使用的一个重要辅材,多晶铸锭用石英坩埚,由于普通坩埚底部呈现各向同 性的特点,硅液在结晶初期形核不能得到有效控制,存在晶粒...
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