技术编号:8337376
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在TFT-LCD(Thin Film Transistor,薄膜晶体管;Liquid Crystal Display,液晶显示器)制造领域,关键尺寸(Critical Dimens1n,一般是指10um以下的图形线宽或间隔,为表示图形位置之尺寸值)的监控测量十分重要,其尺寸大小的控制将直接影响整个显示装置的性能。现有技术中,关键尺寸的监控测量主要通过将实际拍摄照片与预存的特征图片进行匹配来实现。然而在现有的监控测量设备中,对于每一块待测基板的传送定位、照片...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。