技术编号:8337410
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于光学测量,特别是一种基于针孔式点衍射干涉仪的球面镜曲 率半径测量装置及方法。背景技术 球面镜是光学系统中常见的一种光学元件,在各类光学系统中有重要的应用。例 如,在下一代光刻投影物镜系统中(ExtremeUltra-violet,简称EUV),采用13. 5nm全反射 式光刻物镜。该系统中包含6片离轴球面或非球面镜,球面反射镜的加工质量对整个系统 的成像效果有着关键的影响。曲率半径(radiusofcurvature,R0C)是表征光学球面镜光...
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