技术编号：8337643
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及光干涉测试领域，特别是一种斐索型双波长激光调谐移相干涉测试装 置及其方法。背景技术 斐索型干涉仪是一种常用的等厚型干涉仪，具有参考光与测试光共光路的特点， 可以用于平面、球面及非球面的面形测量，球面曲率半径的测量以及各种透镜、棱镜、光学 系统的波面传输质量的测量。 移相干涉是一种精密光学干涉测量技术，采用精密的移相器件在参考光路中有序 地引入特定移相值，改变参考光与测试光的相位差来实现相位调制，利用探测器（如CCD) 采集数字化的干涉图，通过不...
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