技术编号:8337703
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。传统的真空微电子压力传感器具有灵敏度高、温度稳定性好和抗辐射等优点,但由于结构上的限制无法在进一步提高其性能。真空微电子压力传感器的阴阳极间距直接影响传感器的灵敏度和压力测量范围,减小阴阳极间距有利于提高传感器的灵敏度,但间距过小会限制传感器的压力测量范围,两者兼顾相互矛盾。在实际测量应用中,为了增强功能性与使用范围更需要进一步提高灵敏度和扩大量程,如何解决这一矛盾已成为难题。发明内容本发明的目的是提供一种高灵敏度宽量程的台阶阵列阴极真空微电子压力传感器。...
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