面积高效的压力感测装置的制造方法技术资料下载

技术编号:8337704

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专利说明背景技术在过去的几年中,由于压力感测装置已应用到若干种产品中,因而变为普遍存在的。在汽车制造业、工业、消费品和医用品中对压力感测装置的需求猛涨,并且未显示出减少的迹象。压力感测装置可以包括压力传感器以及其它部件。压力传感器可以典型地包括隔膜(diaphragm)或膜(membrane)。当压力感测装置中的压力传感器经受到压力时,膜通过改变形状而做出响应。这种形状的改变导致膜上的电子元件的一个或多个特征发生改变。这些变化的特征能够被测量,并且由此能够...
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