技术编号:8341172
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在液晶显示面板的制造中,关键尺寸(Critical Dimens1n, CD)测量是一种用于检测光刻(DI关键尺寸)和刻蚀(FI关键尺寸)是否达到设计要求的测量方法。关键尺寸测量设备是半导体和液晶显示面板阵列制造过程中监控关键线宽和线距尺寸的重要设备,因此关键尺寸测量设备的准确度和精度对于生产符合设计要求的半导体和薄膜晶体管(TFT)器件具有重要的作用。关键尺寸测量设备主要由测量基台、光学显微镜系统、照明系统等组成。照明系统主要使用卤素灯,为了保证测量的亮...
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