技术编号:8341173
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体设备的控制,特别是涉及一种半导体设备异常时的物料处理方法和一种半导体设备异常时的物料处理装置。背景技术在工艺生产过程中,半导体设备通过预先制定的工艺传输流程来保证所有的物料都可以按照该流程有序地将物料送到预定的位置进行工艺生产加工,并将加工完成的物料送到指定的位置进行储存。当半导体设备异常时,比如当半导体设备的部件进行工艺任务,不满足互锁条件而导致工艺停止时,或者半导体设备的部件被手动终止时,往往需要手动将半导体设备中的存在的物料传到物料储...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。