技术编号:8341176
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集群批处理式基板处理系统,更具体地,以基板搬运机器人为中心,将多个批处理式基板处理装置配置成放射状,从而最大限度地提高基板处理效率以及生产率的集群批处理式基板处理系统。背景技术为了制造半导体元件,必须进行在硅晶片等基板上沉积必要的薄膜的工艺。在薄膜沉积工艺中主要使用派射法(Sputtering)、化学气相沉积法(CVDChemical VaporDeposit1n)、原子层沉积法(ALDAtomic layer Deposit1n)等。溅射法是将...
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