技术编号:8344103
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种新型芴类肟酯化合物,以及含有该芴类肟酯化合物的光聚合引发 剂和光阻剂的组合物。背景技术 作为应用于光阻剂组合物的光聚合引发剂的现有示例,现已知多种类型。例如苯 乙酮衍生物,二苯甲酮衍生物,三嗪衍生物,双咪唑衍生物,酰基氧化膦衍生物,肟酯衍生物 等。其中,肟酯衍生物的优势在于吸收紫外光后它们几乎无色,并且具有高水平的自由基 (radical)生成效率,以及具有与光阻剂组合物的原材料的卓越的相容性和稳定性。然而, 最初开发的肟衍生物的光引发效率...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。