技术编号:8344288
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种制造在摩擦学上受负荷的层复合物的方法,该层复合物带有基材 以及由含钨的、无定形的类金刚石碳所形成的功能层,还涉及一种带有借助前体制造的功 能层的层复合物,并且涉及金属有机化合物作为用于制造功能层的前体的用途。背景技术 为了获得用于机器构件(譬如滚动轴承部件)、马达零件和工具的、在摩擦学上能 受负荷并耐腐蚀的层,本类的覆层方法是已知的。在此,例如在WO 2010/026092 A2中提出 了 PVD (物理气相沉积)或PACVD (等离子增强...
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