技术编号:8344481
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在需要小尺寸的传感器的应用中,已知依靠通过蚀刻晶体材料的板制成的传感器。被称为谐振类型且被认为具有比包括具有应变计的膜片的一般微机械加工传感器更好的性能的一个此类压力传感器,包括限定容腔的盒子、以及至少一个谐振器,所述谐振器被接纳在容腔中且通过柔性横梁从封闭容腔的至少一个可弹性变形的膜片悬伸。所述容腔还含有用于将谐振器设定成振动的谐振器激励装置和用于检测谐振器的振动频率的检测器装置。所述可变形的膜片因此与谐振器相互作用,其方式为使得在来自周围流体的压力下的...
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