技术编号:8344718
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明可更换晶片支撑托架本申请要求2012年5月4日申请的申请号为N0.61643091的美国临时申请的优先权。该申请及其包括的附录通过引用的方式并入本文中。本发明涉及用于例如半导体晶片的敏感基片的容器,并且特别涉及此等容器的晶片支撑结构。背景技术例如计算机芯片的集成电路由半导体晶片制成。这些晶片在制作集成电路的工艺中经过诸多步骤。这通常需要将多个晶片从一个工作站运送到另一个工作站,用于由专门设备进行处理。作为处理工艺的一部分,晶片可能被暂时存储在容器中...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。