技术编号：8353292
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。MEMS(Micro Electric-Mechanical System,微电子机械系统)是指在微米量级内设计和制造、集成了许多元件，并适于低成本大量生产的系统。在21世纪，MEMS是具有战略意义的前沿高技术，是未来的主导产业之一。它以其微型化的优势，在汽车、电子、家电、机电等行业和军事领域有着极为广阔的应用前景。目前MEMS器件的主流加工技术是刻蚀工艺。其中干法刻蚀剖面各向异性可以实现微细图形的转换，满足越来越小的尺寸要求，已成为亚微米和深亚微米技术中...
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