一种单晶硅生长炉的石墨坩埚的制作方法技术资料下载

技术编号:8356303

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目前,能源短缺和环境污染已成为制约人类社会可持续发展的两大重要因素。光伏发电因发电过程中无污染、无噪音、维护简单、无需生产原料等优点而逐步显示出其发展空间和应用前景。太阳能电池用的单晶硅的制作是这个产业中重要的一个环节。单晶硅在制作工程中,大部分过程是吸热过程,即需要外部供给热量。单晶硅生长炉中一般有一个石墨制的主发热体,其两端同上直流电,产生热量,发热体处在吸热体的外面,热量是由外向内径向传导的。随着硅单晶直径的加大,单晶硅生长炉热场的尺寸变得越来越大,...
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