技术编号:8359615
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于材料科学,涉及金属纳米多层膜材料附着性能,尤其是一种 评价Cu系金属纳米多层膜材料附着性能的方法。背景技术 金属薄膜是微电子产品中应用最为广泛的一种薄膜。随着电子元器件微型化、小 型化的发展,尤其是纳米金属多层膜薄膜在半导体器件、集成电路和电子元器件等方面得 到了广泛深入的研宄,取得了丰硕的成果。纳米金属多层膜薄膜的附着问题是薄膜化元器 件研宄工作的一个重要组成部分,在实际镀膜工作中,由于金属本身物理化学性质的不同, 金属与基片之间热膨胀系数、...
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