技术编号:8359715
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种进行多个运行数据(run data)族群的逻辑运算的数据运算技术 以及应用该数据运算技术的缺陷检查装置。背景技术 在半导体基板或印刷基板等的制造,为了检测产品中所包含的缺陷并对 缺陷进行分析、评价,而利用显微镜等拍摄评价对象物,从所获得的图像中提取包含缺陷部 的图像。然后,对所提取的图像执行利用遮罩图像的遮罩处理(mask processing),由此准 确地求出缺陷图像。为了进行该遮罩处理,而对所述图像的运行数据执行例如日本专利特 开平7...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。