数据运算方法、数据运算装置及缺陷检查装置的制造方法技术资料下载

技术编号:8359715

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本发明涉及一种进行多个运行数据(run data)族群的逻辑运算的数据运算技术 以及应用该数据运算技术的缺陷检查装置。背景技术 在半导体基板或印刷基板等的制造,为了检测产品中所包含的缺陷并对 缺陷进行分析、评价,而利用显微镜等拍摄评价对象物,从所获得的图像中提取包含缺陷部 的图像。然后,对所提取的图像执行利用遮罩图像的遮罩处理(mask processing),由此准 确地求出缺陷图像。为了进行该遮罩处理,而对所述图像的运行数据执行例如日本专利特 开平7...
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