一种大面积高电离率氧化物阴极等离子体源的制作方法技术资料下载

技术编号:8362977

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氧化物阴极广泛用于电子工业领域,是热灯丝阴极的进一步发展。现在所说的氧化物阴极泛指在基金属表面喷涂一层碱土金属氧化物而制成的一类发射体的统称,文献G.赫孟,S.华庚纳著《氧化物阴极第一卷》、《氧化物阴极第二卷》,江剑平著《阴极电子学与气体放电原理》中对氧化物阴极有着详细的介绍。相对于热灯丝阴极,它的逸出功、工作温度都要低很多,但是发射效率却比钍钨阴极高很多。更为难能可贵的是,在脉冲放电模式下,它可以提供比热灯丝阴极大的多的电流密度。氧化物阴极在等离子体物理...
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