技术编号:8362980
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在一种离子注入装置中连接有离子源及其电源,以使具有较小射束电流量的离子束从离子源引出(例如,参考专利文献I)。该装置中能够改变离子源和电源的连接,以使具有较大射束电流量的尚子束从尚子源引出。另一种离子注入装置具有离子源、加速管及连接它们的电源的电气电路,以使以较高的离子能量向靶注入离子(例如参考专利文献2)。该电气电路上设有用于切换连接的选择开关,以便在离子能量较低时也能够注入离子。专利文献1日本特开昭62-122045号公报专利文献2日本特开平1-149...
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