基于基板凹槽的芯片集成指纹识别传感器及其制作方法技术资料下载

技术编号:8363125

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随着终端产品的智能化程度不断提高,各种传感器芯片层出不穷。传感芯片扩展了智能手机、平板电脑等产品的应用领域,例如,指纹识别芯片的出现就大大提高了上述产品的安全性。目前典型的指纹识别传感器芯片,包括半导体芯片,其上形成有用于感测的传感器元件阵列作为感应区域,其最大的特征在于其芯片表面的感应区域与用户手指发生作用,产生芯片可以感测的电信号。为了保证感测的精确度和灵敏度,该感应区域与用户手指的距离要求尽可能小,传但限于当前的芯片工艺,芯片焊盘一般也位于同一表面,...
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