技术编号:83634
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及材料处理的一般技术领域,具体涉及薄膜特别是半导体薄膜领域、晶片材料领域、半导体晶片尤其是硅晶片以及IV型、IV-IV型半导体晶片领域,目的是获得如集成电路、光电元件或电池或微电子机械系统(MEMS)或微光电子机械系统(MOEMS)或显示器件(如平板屏幕或摄像器件)的电子或光电子部件。 背景技术欧洲专利EP-A-0924 769公开了一种方法,其中通过连续堆叠多层制造一种结构。在其生产过程中,一特定层被置于最终结构的深度范围内,所述层在随后经受光通量时具有选择性吸收该光通量和导致剥落效应的固有特性,...
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