技术编号:8367298
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明电容量型传感器片、电容量型传感器片的制造方法及传感□ □本发明涉及一种用于测量伸缩变形形变量和/或伸缩变形形变分布的电容量型传感器片及该电容量型传感器片的制造方法。背景技术电容量型传感器片能够根据一对电极层间的电容量变化,检测测量对象物的凸凹形状等,并能够用于面压分布传感器或形变测量计等的传感器。通常,电容量型传感器的电容量(电容)由以下公式(I)表示。C = ε。ε rS/d...(I)这里,C表不电容,ε。表不自由空间的介电常数,ε r表不电介...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。