技术编号：8367325
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于操纵微制造流体通道中的小颗粒的系统和方法。微机电系统(MEMS)是非常小的，常常是使用表面或块体平版印刷处理技术(诸如用来制造半导体器件的那些)在基板上实现的可移动结构。MEMS器件可以是例如可移动致动器、传感器、阀、活塞或开关，具有几微米至数百微米的特性尺寸。可移动MEMS开关例如可用来将一个或多个输入端子连接到一个或多个输出端子，其全部是在基板上微制造的。用于可移动开关的致动装置可以是例如热、压电、静电或磁性的。可在半导体基板上制造M...
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